碳化硅石墨基座

SiC涂层石墨基座具有耐高温、抗氧化、纯度高、和耐酸碱盐及有机试剂等特性，物理化学性能稳定。与高纯度石墨相比较，高纯石墨在400℃开始发生强烈氧化，即使温度不高，长期应用也因氧化而掉粉末，会依附工件和台面或污染使用环境，因此SiC涂层石墨基座作为一种新耗材在MOCVD设备、粉末烧结等工序上逐步代替了高纯石墨基座。

本公司生产的SiC涂层石墨基座等产品涂层是在高温条件下，使特种气体释放出硅和碳，硅和碳结合，从而将特定形状石墨基体包裹起来，形成SiC保护层，所形成的SiC牢牢的巴结在石墨基体上，赋予石墨基体特殊的性能，从而使石墨基座表面致密，无孔隙、耐高温、抗溶蚀、抗氧化